[实用新型]扫描电镜

说明书

本实用新型公开了一种扫描电镜，包括：导轨、支架、负载台、驱动件，所述支架与所述导轨相连并沿所述导轨可移动，所述负载台支撑于所述支架上；所述驱动件与所述支架传动连接，以驱动所述支架移动，所述驱动件与所述导轨沿垂直于所述导轨的方向相对设置。通过应用上述技术方案，驱动件可以设于导轨侧边，可以提高空间利用率，提高扫描电镜的紧凑性。

技术领域

本实用新型涉及精密仪器领域，尤其是涉及一种扫描电镜。

背景技术

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。所谓扫描是指在图像上从左到右、从上到下依次对图像像元扫掠的工作过程，相关技术中，扫描电镜应用时受整体尺寸限制，难以满足操作者的使用需求。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种扫描电镜，驱动件可以设于导轨侧边，可以提高空间利用率，提高扫描电镜的紧凑性。

根据本实用新型实施例的扫描电镜，包括：导轨、支架、负载台、驱动件，所述支架与所述导轨相连并沿所述导轨可移动，所述负载台支撑于所述支架上；所述驱动件与所述支架传动连接，以驱动所述支架移动，所述驱动件与所述导轨沿垂直于所述导轨的方向相对设置。

根据本实用新型实施例的扫描电镜，驱动件可以设于导轨侧边，可以提高空间利用率，提高扫描电镜的紧凑性。

另外，根据本实用新型上述实施例的扫描电镜还可以具有如下附加的技术特征：

在本实用新型的一些示例中，所述扫描电镜还包括：丝杆、传送带，所述丝杆与所述支架螺纹传动连接，所述丝杆与所述导轨同向延伸；所述传送带与所述驱动件和所述丝杆传动连接。

在本实用新型的一些示例中，所述导轨沿第一方向延伸，并包括沿第二方向相对排布的至少两个，且所述驱动件与所述导轨沿所述第二方向排布，并位于多个所述导轨的外侧。

在本实用新型的一些示例中，所述扫描电镜还包括：齿条、齿轮、第一涡轮、第一蜗杆，所述齿条与所述支架固定连接，并与所述导轨同向延伸；所述齿轮与所述齿条啮合；所述第一涡轮与所述齿轮同轴固定连接；所述第一蜗杆与所述第一涡轮啮合，且所述第一蜗杆与所述驱动件传动连接。

在本实用新型的一些示例中，所述导轨沿第三方向延伸，并包括沿第一方向相对排布的至少两个，且所述驱动件与所述导轨沿第二方向排布，并位于多个所述导轨的外侧。

在本实用新型的一些示例中，所述驱动件与所述导轨平行布置。

根据本实用新型实施例的扫描电镜，包括：第一导轨、位移台、负载台、第一驱动件，所述第一导轨沿第一方向延伸；所述位移台与所述第一导轨相连并沿所述第一导轨可移动，所述负载台支撑于所述位移台上；所述第一驱动件与所述位移台传动连接，以驱动所述位移台移动，所述第一驱动件与所述第一导轨沿第二方向相对设置，所述第二方向垂直于所述第一方向。

根据本实用新型实施例的扫描电镜，可以移动负载台，利于增加样品扫描角度，且驱动件可以设于导轨侧边，可以提高空间利用率，提高扫描电镜的紧凑性。

在本实用新型的一些示例中，所述位移台包括：第二导轨、第一支撑座、第二驱动件，所述第二导轨沿第一方向可移动地与所述第一导轨相连，并由所述第一驱动件驱动，所述第二导轨沿第二方向延伸；所述第一支撑座与所述第二导轨相连，并沿第二方向可移动；所述第二驱动件与所述第一支撑座传动连接以驱动所述第一支撑座移动，其中，第二驱动件与所述第一驱动件设于所述扫描电镜的同一侧。