[实用新型]一种测漏系统有效
| 申请号： | 202221767045.8 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN217605222U | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 崔尚坤;朱海洋;李飞;王维斌;李龙祥 | 申请（专利权）人： | 盛合晶微半导体（江阴）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 214437 江苏省无锡市江阴市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种测漏系统，包括主抽真空管路、预抽真空管路及探测装置；所述主抽真空管路的第一端连接腔室，第二端连接真空泵；所述主抽真空管路上从第一端到第二端依次设置有摆阀及分子泵；所述预抽真空管路的第一端连接所述腔室，第二端连接在所述真空泵与所述分子泵之间的管路上；所述预抽真空管路上设置有真空阀；所述探测装置连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上；所述探测装置包括探测管路及探测器；所述探测管路的第一端连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上，第二端连接所述探测器；所述探测管路上设置有开关阀。本实用新型的测漏系统很大程度上减少了泄露时长，不用部分拆卸，可有效防止设备二次污染，提高生产力及良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 | ||
【主权项】：
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