[实用新型]一种测漏系统有效
| 申请号： | 202221767045.8 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN217605222U | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 崔尚坤;朱海洋;李飞;王维斌;李龙祥 | 申请（专利权）人： | 盛合晶微半导体（江阴）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 214437 江苏省无锡市江阴市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种测漏系统，其特征在于，所述测漏系统至少包括：主抽真空管路、预抽真空管路及探测装置；
所述主抽真空管路的第一端连接腔室，第二端连接真空泵；所述主抽真空管路上从第一端到第二端依次设置有摆阀及分子泵；
所述预抽真空管路的第一端连接所述腔室，第二端连接在所述真空泵与所述分子泵之间的管路上；所述预抽真空管路上设置有真空阀；
所述探测装置连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上；所述探测装置包括探测管路及探测器；所述探测管路的第一端连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上，第二端连接所述探测器；所述探测管路上设置有开关阀。
2.根据权利要求1所述的测漏系统，其特征在于：所述真空泵为干式真空泵。
3.根据权利要求1所述的测漏系统，其特征在于：所述探测器通过密封环连接在所述探测管路的第二端。
4.根据权利要求1所述的测漏系统，其特征在于：所述探测器为惰性气体探测器。
5.根据权利要求4所述的测漏系统，其特征在于：所述探测器为氦气探测器。
6.根据权利要求1所述的测漏系统，其特征在于：所述腔室为硅刻蚀工艺腔室。
7.根据权利要求1所述的测漏系统，其特征在于：所述开关阀为手阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于盛合晶微半导体（江阴）有限公司，未经盛合晶微半导体（江阴）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202221767045.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种空中云轨智能送餐小车
- 下一篇：一种强密封性闸阀
