[实用新型]一种测漏系统

说明书

本实用新型提供一种测漏系统，包括主抽真空管路、预抽真空管路及探测装置；所述主抽真空管路的第一端连接腔室，第二端连接真空泵；所述主抽真空管路上从第一端到第二端依次设置有摆阀及分子泵；所述预抽真空管路的第一端连接所述腔室，第二端连接在所述真空泵与所述分子泵之间的管路上；所述预抽真空管路上设置有真空阀；所述探测装置连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上；所述探测装置包括探测管路及探测器；所述探测管路的第一端连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上，第二端连接所述探测器；所述探测管路上设置有开关阀。本实用新型的测漏系统很大程度上减少了泄露时长，不用部分拆卸，可有效防止设备二次污染，提高生产力及良率。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别是涉及一种测漏系统。

背景技术

目前，在工艺腔体中，硅刻蚀时的真空管路复杂，易漏点较多，在现有真空管路中测漏时需要气体吹扫3个小时，系统宕机1个小时后，才可以测试准确，因此排查漏点耗时很长。在测漏时，需要拆卸零部件，进而会给工艺腔体带来各种污染。

因此，如何解决硅刻蚀时排查漏点时间长的问题，已经成为本领域技术人员亟待解决的问题之一。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种测漏系统，用于解决现有技术中硅刻蚀时排查漏点时间长的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一测漏系统，包括主抽真空管路、预抽真空管路及探测装置；

所述主抽真空管路的第一端连接腔室，第二端连接真空泵；所述主抽真空管路上从第一端到第二端依次设置有摆阀及分子泵；

所述预抽真空管路的第一端连接所述腔室，第二端连接在所述真空泵与所述分子泵之间的管路上；所述预抽真空管路上设置有真空阀；

所述探测装置连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上；所述探测装置包括探测管路及探测器；所述探测管路的第一端连接在所述真空阀与所述腔室之间的管路上，第二端连接所述探测器；所述探测管路上设置有开关阀。

可选地，所述真空泵为干式真空泵。

可选地，所述探测器通过密封环连接在所述探测管路的第二端。

可选地，所述探测器为惰性气体探测器。

更可选地，所述探测器为氦气探测器。

可选地，所述腔室为硅刻蚀工艺腔室。

可选地，所述开关阀为手阀。

如上所述，本实用新型的测漏系统，具有以下有益效果：

1，本实用新型的测漏系统通过增加手阀调节机构，使用氦气探测器可明显缩短漏点排查时间；向可能漏的节点轻喷氦气，若有泄露氦气探测器压力变化非常明显，从而快速找到漏点。

2，本实用新型的测漏系统可以避免拆卸非相关部分，减少腔体污染；系统操作步骤简单，从而增加运行时间。

附图说明

图1显示为一种真空管路的结构示意图。

图2显示为本实用新型的测漏系统的结构示意图。

元件标号说明

1 主抽真空管路

11 摆阀

12 分子泵

2 预抽真空管路

21 真空阀