[实用新型]一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置

摘要

一种半导体湿法设备制程工艺洁净水节约回收装置，设置有回收池和废水池，通过检测水洁净的电阻值，用PLC控制器控制三通电磁阀门，将符合水洁净标准的水流入到回收池。本装置是通过更改半导体湿法设备制程工艺的回收管路，将符合水质要求的废水排入回收池内，进行回收再利用，把不符合要求的废水排入废水池。本装置是采用PLC控制器设定时间和设定电子水阻值计的参数来控制三通电磁阀门的转向，从而确定水是进入排放废水池还是进入回收池，这样设计的目的，在于可以将半导体湿法设备制程工艺流程中大部分相对洁净的去离子水予以回收，在较低的处理成本下再循环利用水资源，可以达到减少废水排放处理的目标。