[实用新型]玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱

摘要

本实用新型公开一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱,包括箱体和设置在箱体外部的异物收集装置，箱体内设置有用于容纳基板的腔室，腔室的侧壁具有若干排气孔，排气孔上设置排气阀，异物收集装置包括收集装置以及排气管，排气管的一端与排气孔连接，另一端与收集装置连接，收集装置用于收集从排气管排出的异物。设置收集装置和排气管，异物伴随着气体从排气孔排出并经过排气管进入到收集装置内部，在收集装置的作用下，异物被截留在收集装置的内部，从而防止异物排放到箱体的外部而粘附在一侧的防护板上，避免异物重新进入到腔室内而影响基板的光刻质量。