[实用新型]玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱

说明书

本实用新型公开一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱,包括箱体和设置在箱体外部的异物收集装置，箱体内设置有用于容纳基板的腔室，腔室的侧壁具有若干排气孔，排气孔上设置排气阀，异物收集装置包括收集装置以及排气管，排气管的一端与排气孔连接，另一端与收集装置连接，收集装置用于收集从排气管排出的异物。设置收集装置和排气管，异物伴随着气体从排气孔排出并经过排气管进入到收集装置内部，在收集装置的作用下，异物被截留在收集装置的内部，从而防止异物排放到箱体的外部而粘附在一侧的防护板上，避免异物重新进入到腔室内而影响基板的光刻质量。

技术领域

本实用新型涉及显示装置制造设备技术领域，尤其涉及一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱。

背景技术

显示装置的玻璃基板在光刻时，需要利用真空干燥箱对表面涂覆有光刻胶的玻璃基板进行干燥处理。参照图1，为了保证安全，真空干燥箱1＇的一侧间隔设置有防护板3＇，通过防护板3＇隔开人行通道和真空干燥箱1＇，防止人员与真空干燥箱1＇发生碰撞，此外，为优化工作车间内部工作环境，还会在车间的上方设置送风机，加快空气流通。真空干燥箱1＇包括用于容纳待处理玻璃基板的腔室，真空干燥箱1＇上设置有供玻璃基板进入和送出的入口和出口，入口和出口均与腔室连通，且入口和出口通过门体选择性封堵，真空干燥箱1＇朝向防护板3＇的一侧贯穿设置有多个连通腔室的排气孔，排气孔上设置有阀门。具体处理玻璃基板时，玻璃基板从入口进入到腔室内部，此时腔室内部的气压与大气压一致，将玻璃基板摆放好在腔室内部之后，关闭入口和出口的门体，并利用泵体将腔室内部的空气抽出，当腔室内部接近真空状态后，腔室对玻璃基板加热，使玻璃基板上的光刻胶干燥至工艺要求，然后利用泵体将空气泵入腔室内部，使腔室内部的气压缓慢升高，当腔室内部的气压升高至一定程度后，打开门体，将玻璃基板从开口送出到真空干燥箱1＇外，完成玻璃基板的干燥处理。腔室对玻璃基板加热时，高温会使光刻胶在腔室中形成异物2＇(比如粉尘颗粒)，打开门体前，需要打开排气孔上的阀门，使腔室内部的异物随着气体排出，排出的异物会粘附在防护板上，下一轮泵体将空气泵入腔室内部时，在气流的影响下粘附在防护板上的异物会脱落并重新进入到腔室内，进入腔室内部的异物粘附在光刻胶上会影响玻璃基板的光刻质量。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于：提供一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其能收集从排气孔排出的异物，防止异物重新进入到真空干燥箱内而影响基板光刻的质量。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，提供一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，包括箱体和设置在所述箱体外部的异物收集装置，所述箱体内设置有用于容纳基板的腔室，所述腔室的侧壁具有若干排气孔，所述排气孔上设置排气阀，所述异物收集装置包括收集装置以及排气管，所述排气管的一端与所述排气孔连接，另一端与所述收集装置连接，所述收集装置用于收集从所述排气管排出的异物。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述排气孔具有至少两个，至少两个所述排气孔与同一个所述排气管连接。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述排气管为柔性管。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，还包括消音组件，所述消音组件设置在所述排气管上。

作为玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱的一种优选方案，所述排气管包括第一管和第二管，所述消音组件包括消音管和设置在所述消音管两端的封板，所述封板上设置有通孔，所述消音管的内径大于所述第一管的外径和所述第二管的外径，所述第一管的一端与所述排气孔连接，所述第二管的一端与所述收集装置连接，所述第一管远离所述排气孔的一端以及所述第二管远离所述收集装置的一端均具有插入端，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端分别穿过所述通孔伸入至所述消音管的内部，且所述第一管的所述插入端与所述第二管的所述插入端间隔设置。