[实用新型]玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱

权利要求书

1.一种玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，包括箱体和设置在所述箱体外部的异物收集装置，所述箱体内设置有用于容纳基板的腔室，所述腔室的侧壁具有若干排气孔，所述排气孔上设置排气阀，所述异物收集装置包括收集装置以及排气管，所述排气管的一端与所述排气孔连接，另一端与所述收集装置连接，所述收集装置用于收集从所述排气管排出的异物。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排气孔具有至少两个，至少两个所述排气孔与同一个所述排气管连接。

3.根据权利要求1所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排气管为柔性管。

4.根据权利要求1-3任一项所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，还包括消音组件，所述消音组件设置在所述排气管上。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述排气管包括第一管和第二管，所述消音组件包括消音管和设置在所述消音管两端的封板，所述封板上设置有通孔，所述消音管的内径大于所述第一管的外径和所述第二管的外径，所述第一管的一端与所述排气孔连接，所述第二管的一端与所述收集装置连接，所述第一管远离所述排气孔的一端以及所述第二管远离所述收集装置的一端均具有插入端，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端分别穿过所述通孔伸入至所述消音管的内部，且所述第一管的所述插入端与所述第二管的所述插入端间隔设置。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管的所述插入端和所述第二管的所述插入端的管侧壁均贯穿设置有消音孔。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述消音孔为圆锥孔，所述第一管上的所述消音孔的大端靠近所述第一管的轴线，所述第二管上的所述消音孔的大端部远离所述第二管的轴线。

8.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管和所述第二管均通过弹性密封圈与对应的所述封板密封连接。

9.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述通孔位于所述封板的中部。

10.根据权利要求5所述的玻璃基板上光刻胶干燥用的真空干燥箱，其特征在于，所述第一管上分别设置有第一接头和第一控制阀，所述第一接头位于所述第一控制阀与所述消音管之间，所述第二管分别设置有第二接头和第二控制阀，所述第二接头位于所述第二控制阀与所述消音管之间，所述第一接头用于连接高压进气管，所述第二接头用于连接高压出气管。