[实用新型]一种刻蚀处理装置有效
| 申请号： | 202221509373.8 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN218178142U | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 孙书雄;刘旭华;管昌新;张锐;李剑 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | F16L3/22 | 分类号： | F16L3/22;F16B39/24;H01L21/311 |
| 代理公司： | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人： | 张琦 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种刻蚀处理装置，包括第一槽体、进液管道、连接件以及第一垫片。第一槽体具有第一容纳腔；进液管道设置在第一容纳腔中，进液管道通过连接件与第一槽体连接；第一垫片的至少部分位于连接件与进液管道之间，第一垫片与连接件以及进液管道触接。本申请实施例中，在连接件与进液管道之间增加第一垫片，让连接件接触进液管道变为连接件接触第一垫片，而连接件与第一垫片触接时产生的摩擦力更大，减少连接件发生松动情况，从而能够更好的固定住连接件，进而固定住进液管道。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 处理 装置 | ||
【主权项】：
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