[实用新型]一种刻蚀处理装置

权利要求书

1.一种刻蚀处理装置，其特征在于，包括：

第一槽体，具有第一容纳腔；

进液管道，设置在所述第一容纳腔中；

连接件，所述进液管道通过所述连接件与所述第一槽体连接；

第一垫片，所述第一垫片的至少部分位于所述连接件与所述进液管道之间，所述第一垫片与所述连接件以及所述进液管道触接。

2.根据权利要求1所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述第一槽体的内壁上设置有支撑结构，所述进液管道与所述支撑结构可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述连接件包括螺栓与螺帽，所述螺栓贯穿所述进液管道且与所述支撑结构螺纹连接；所述第一垫片包括第一部分，所述第一部分位于所述连接件与所述进液管道之间，所述第一部分设置有供螺栓穿过的开孔。

4.根据权利要求3所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述支撑结构位于所述进液管道远离所述第一部分的一侧，所述处理装置还包括第二垫片，所述第二垫片设置于所述进液管道与所述支撑结构之间，所述第二垫片与所述进液管道以及所述支撑结构触接。

5.根据权利要求4所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述第一垫片还包括第二部分，所述第二部分套接于所述第二垫片的外侧，且所述第二部分与所述第二垫片抵接，所述第一部分与所述第二部分连接。

6.根据权利要求5所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述第一垫片和所述第二垫片中的一者为聚四氟乙烯垫片，所述第一垫片和所述第二垫片中的另一者为橡胶垫片。

7.根据权利要求1所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述处理装置还包括第二槽体，所述第二槽体具有第二容纳腔，所述第一槽体设置在所述第二容纳腔中，且所述进液管道具有进液口，所述进液口与所述第二容纳腔连通。

8.根据权利要求7所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述第一槽体包括合围形成所述第一容纳腔的第一侧板，所述第二槽体包括合围形成所述第二容纳腔的第二侧板，所述第一侧板的高度低于所述第二侧板的高度。

9.根据权利要求7所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述进液管道设置在所述第一槽体的底部，所述进液管道上设置有喷嘴，所述喷嘴与所述进液管道连通。

10.根据权利要求9所述的刻蚀处理装置，其特征在于，所述进液管道设置有多条，且每条所述进液管道上设置有多个所述喷嘴。