[实用新型]一种废水处理系统及晶圆背面减薄装置有效
| 申请号： | 202221191015.7 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN217677044U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 万先进;边逸军;黄荣上;王冬冬 | 申请（专利权）人： | 宁波芯丰精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/02 | 分类号： | C02F9/02;B01D29/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨杰 |
| 地址： | 315400 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型属于半导体晶圆加工技术领域，具体公开了一种废水处理系统及晶圆背面减薄装置，废水处理系统包括管路式粉碎机和废水分离箱，管路式粉碎机能够对晶圆背面减薄装置的内部的排水管内研磨废水中的晶渣进行粉碎，粉碎处理后的研磨废水进入到废水分离箱内进行固液分离，固液分离后的研磨废水排入排放池内。通过管路式粉碎机将排水管内研磨废水中的晶渣进行粉碎，避免了晶渣堵塞排水管的排水口的问题，废水分离箱将研磨废水中的晶渣过滤掉，保证了研磨废水排入排放池的管路通畅。本实用新型还提供一种晶圆背面减薄装置，包括上述的废水处理系统，通过该废水处理系统能够对晶圆背面减薄装置产生的研磨废水进行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 废水处理 系统 背面 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波芯丰精密科技有限公司，未经宁波芯丰精密科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202221191015.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种爬架自动牵引装置
- 下一篇：一种带有防护机构的变压器
