[实用新型]一种直拉法生长硅单晶的热场装置

摘要

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，公开了一种直拉法生长硅单晶的热场装置，包括炉盖和炉体，所述炉盖的外端固定连接有支架，所述炉体的后部转动安装在支架的后部，所述炉体的前部固定连接有支撑轮，所述炉盖和炉体之间固定连接有锁扣，所述支架的下部固定连接有限位弹扣，所述限位弹扣与炉体活动扣接匹配，所述炉体包括炉壳和转套，所述转套与炉壳固定连接，所述炉体还包括把手，所述把手固定连接在炉壳的上部外端，所述炉体还包括支撑座，所述支撑座活动支撑在炉壳的下端。本实用新型将锁扣打开，再将炉体向侧部转开，使得炉盖离开炉体的上部，同理反向操作将炉体恢复，方便了打开炉体或闭合炉体的空间，从而方便了检修炉体。