[实用新型]一种直拉法生长硅单晶的热场装置

说明书

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，公开了一种直拉法生长硅单晶的热场装置，包括炉盖和炉体，所述炉盖的外端固定连接有支架，所述炉体的后部转动安装在支架的后部，所述炉体的前部固定连接有支撑轮，所述炉盖和炉体之间固定连接有锁扣，所述支架的下部固定连接有限位弹扣，所述限位弹扣与炉体活动扣接匹配，所述炉体包括炉壳和转套，所述转套与炉壳固定连接，所述炉体还包括把手，所述把手固定连接在炉壳的上部外端，所述炉体还包括支撑座，所述支撑座活动支撑在炉壳的下端。本实用新型将锁扣打开，再将炉体向侧部转开，使得炉盖离开炉体的上部，同理反向操作将炉体恢复，方便了打开炉体或闭合炉体的空间，从而方便了检修炉体。

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种直拉法生长硅单晶的热场装置。

背景技术

直拉法生长硅单晶生产时，将原料放入到加热炉中，然后由炉盖中伸出长杆插入熔液中，再向上旋转拉出单晶硅柱。

由于常规的单晶硅加热炉的炉盖比较高，且比较笨重，打开时受到重力和高度影响，造成常规单晶硅加热炉的打开或闭合炉盖比较麻烦的问题。

为此，我们提出来一种直拉法生长硅单晶的热场装置解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中，常规单晶硅加热炉的打开或闭合炉盖比较麻烦的问题，而提出的一种直拉法生长硅单晶的热场装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种直拉法生长硅单晶的热场装置，包括炉盖和炉体，所述炉盖的外端固定连接有支架，所述炉体的后部转动安装在支架的后部，所述炉体的前部固定连接有支撑轮，所述炉盖和炉体之间固定连接有锁扣。

将锁扣打开，再将炉体向侧部转开，使得炉盖离开炉体的上部，同理反向操作将炉体恢复，方便了打开炉体或闭合炉体的空间，从而方便了检修炉体。

优选的，所述支架的下部固定连接有限位弹扣，所述限位弹扣与炉体活动扣接匹配。

通过炉体带动支撑轮移动，直到支撑轮与限位弹扣扣合，利用扣合定位炉体，方便了炉体与炉盖对齐。

优选的，所述炉体包括炉壳和转套，所述转套与炉壳固定连接。

通过转套方便了炉壳与支架转动连接。

优选的，所述炉体还包括把手，所述把手固定连接在炉壳的上部外端。

通过把手方便了手动操作炉壳移动。

优选的，所述炉体还包括支撑座，所述支撑座活动支撑在炉壳的下端。

通过支撑座稳定闭合状态下的炉壳高度。

优选的，所述支撑轮包括六棱滑柱、第一导套、第一弹簧、滚轮和轴承座，所述六棱滑柱滑动贯穿第一导套固定连接在轴承座的上端，所述第一弹簧活动套在六棱滑柱的外侧，所述第一弹簧的上端固定连接在第一导套的下端，所述第一弹簧的下端固定连接在轴承座的上端，所述滚轮转动连接在轴承座的前端。

通过滚轮支撑在地面，通过第一弹簧的弹力作用于第一导套，使得第一导套作用于炉壳，降低炉壳前部应力，通过第一弹簧弥补地面距离变化，提高了炉壳前部被支撑的稳定性。

优选的，所述限位弹扣包括第二导套、第二弹簧、滑块和滚球，所述第二弹簧活动套在滑块的外侧，所述第二弹簧的一端与滑块固定连接，所述滑块的另一端与第二导套固定连接，所述滑块滑动贯穿第二导套，所述滚球活动嵌在滑块的外端。

通过滚轮与滚球对接后，使得滚球克服第二弹簧的弹力推动滑块，直到滚球卡入到滚轮前端的槽口内，方便了滚轮与限位弹扣扣合定位。