[实用新型]一种直拉法生长硅单晶的热场装置

权利要求书

1.一种直拉法生长硅单晶的热场装置，包括炉盖（1）和炉体（2），其特征在于：所述炉盖（1）的外端固定连接有支架（5），所述炉体（2）的后部转动安装在支架（5）的后部，所述炉体（2）的前部固定连接有支撑轮（3），所述炉盖（1）和炉体（2）之间固定连接有锁扣。

2.根据权利要求1所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置，其特征在于：所述支架（5）的下部固定连接有限位弹扣（4），所述限位弹扣（4）与炉体（2）活动扣接匹配。

3.根据权利要求1所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置，其特征在于：所述炉体（2）包括炉壳（21）和转套（24），所述转套（24）与炉壳（21）固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置，其特征在于：所述炉体（2）还包括把手（22），所述把手（22）固定连接在炉壳（21）的上部外端。

5.根据权利要求3所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置，其特征在于：所述炉体（2）还包括支撑座（23），所述支撑座（23）活动支撑在炉壳（21）的下端。

6.根据权利要求1所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置，其特征在于：所述支撑轮（3）包括六棱滑柱（31）、第一导套（32）、第一弹簧（33）、滚轮（34）和轴承座（35），所述六棱滑柱（31）滑动贯穿第一导套（32）固定连接在轴承座（35）的上端，所述第一弹簧（33）活动套在六棱滑柱（31）的外侧，所述第一弹簧（33）的上端固定连接在第一导套（32）的下端，所述第一弹簧（33）的下端固定连接在轴承座（35）的上端，所述滚轮（34）转动连接在轴承座（35）的前端。

7.根据权利要求2所述的一种直拉法生长硅单晶的热场装置，其特征在于：所述限位弹扣（4）包括第二导套（41）、第二弹簧（42）、滑块（43）和滚球（44），所述第二弹簧（42）活动套在滑块（43）的外侧，所述第二弹簧（42）的一端与滑块（43）固定连接，所述滑块（43）的另一端与第二导套（41）固定连接，所述滑块（43）滑动贯穿第二导套（41），所述滚球（44）活动嵌在滑块（43）的外端。