[实用新型]集成光电子器件制造用蚀刻设备

摘要

本实用新型公开了集成光电子器件制造用蚀刻设备，涉及集成光电子器件制造技术领域。该集成光电子器件制造用蚀刻设备，包括蚀刻箱和蚀刻机构，蚀刻箱的相邻内壁固定连接有过滤网和横管，横管的外壁固定连接有喷头且与其内部相通，蚀刻箱的前侧和后侧均固定安装有L形板，两组L形板的相邻内壁均转动安装有转动杆，两组转动杆上均固定套设有转动辊。该集成光电子器件制造用蚀刻装置，通过电机、转杆、转动齿轮、铰接板A、铰接板B、铰接杆、滑杆、滑杆套、气筒、储液罐、密封板、活塞和弯管的配合使用，能够一机多用，在对光电集成线路板进行传动的同时，带动蚀刻液对光电集成线路板进行喷淋。