[实用新型]集成光电子器件制造用蚀刻设备

权利要求书

1.集成光电子器件制造用蚀刻设备，其特征在于，包括：

蚀刻箱（1），相邻内壁固定连接有过滤网（2）和横管（3），横管（3）的外壁固定连接有喷头（4）且与其内部相通，蚀刻箱（1）的前侧和后侧均固定安装有L形板（5），两组L形板（5）的相邻内壁均转动安装有转动杆（6），两组转动杆（6）上均固定套设有转动辊（7），两组转动辊（7）上均套设有滤网传送带（8），两组转动辊（7）均通过滤网传送带（8）传动连接；

蚀刻机构（9），包括设置于蚀刻箱（1）顶部的驱动组件（91）和加压组件（92），驱动组件（91）可驱动加压组件（92）相对蚀刻箱（1）纵向移动。

2.根据权利要求1所述的集成光电子器件制造用蚀刻设备，其特征在于：所述蚀刻箱（1）的前侧和后侧均开设有矩形开口。

3.根据权利要求2所述的集成光电子器件制造用蚀刻设备，其特征在于：所述驱动组件（91）包括电机（911）、转杆（912）、转动齿轮（913）、铰接板A（914）、铰接板B（915）和铰接杆（916），滑杆（917）和滑杆套（918），蚀刻箱（1）的前侧固定安装有电机（911），电机（911）的输出轴通过联轴器固定连接有转杆（912），转杆（912）上固定套设有转动齿轮（913），一组转动杆（6）的一端贯穿L形板（5）并也固定连接有转动齿轮（913），两组转动齿轮（913）相互啮合，转杆（912）的一端固定连接有铰接板A（914），铰接板A（914）的一侧外壁铰接安装有铰接板B（915），蚀刻箱（1）的顶部固定连接有滑杆（917），滑杆（917）上套设有滑杆套（918），滑杆套（918）的一侧外壁固定连接有铰接杆（916），滑杆套（918）的另一侧外壁固定连接有压板，铰接杆（916）的一端与铰接板B（915）的一侧外壁铰接安装；

所述加压组件（92）包括气筒（921）、储液罐（922）和弯管（923），蚀刻箱（1）的顶部固定安装有气筒（921），蚀刻箱（1）的顶部通过固定架固定安装有储液罐（922），储液罐（922）的外壁固定连接有弯管（923）且弯管（923）的一端延伸至储液罐（922）的内部，弯管（923）的另一端延伸至气筒（921）的内部，气筒（921）的顶部与压板的底部固定连接。

4.根据权利要求3所述的集成光电子器件制造用蚀刻设备，其特征在于：所述储液罐（922）的底部固定连接有排液管且排液管的一端延伸至储液罐（922）的内部，排液管的另一端贯穿蚀刻箱（1）并延伸至横管（3）的内部。

5.根据权利要求4所述的集成光电子器件制造用蚀刻设备，其特征在于：所述储液罐（922）的前侧镶嵌安装有玻璃。

6.根据权利要求5所述的集成光电子器件制造用蚀刻设备，其特征在于：所述储液罐（922）的顶部固定连接有漏斗且与其内部相通。