[实用新型]鼓泡管结构、清洗槽以及清洗设备有效
| 申请号： | 202221121953.X | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN217314845U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 左国军;高强发 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了鼓泡管结构、清洗槽以及清洗设备，鼓泡管结构包括：具有进气接口的主管路和与主管路连接的副管路组件，副管路组件包括分布有出气孔的至少一个副管路，副管路的两端分别为靠近主管路的首端和远离主管路的末端，每个副管路的首端均接在主管路上，且出气孔在副管路的轴向上错位分布，副管路组件包括至少两个副管路，同一组副管路组件中的副管路的末端相互连接。本实用新型具有鼓泡均匀、节约氮气、减少硅片碎片率、提高硅片良品率等诸多优点。 | ||
| 搜索关键词： | 鼓泡管 结构 清洗 以及 设备 | ||
【主权项】：
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