[实用新型]鼓泡管结构、清洗槽以及清洗设备

说明书

本实用新型公开了鼓泡管结构、清洗槽以及清洗设备，鼓泡管结构包括：具有进气接口的主管路和与主管路连接的副管路组件，副管路组件包括分布有出气孔的至少一个副管路，副管路的两端分别为靠近主管路的首端和远离主管路的末端，每个副管路的首端均接在主管路上，且出气孔在副管路的轴向上错位分布，副管路组件包括至少两个副管路，同一组副管路组件中的副管路的末端相互连接。本实用新型具有鼓泡均匀、节约氮气、减少硅片碎片率、提高硅片良品率等诸多优点。

技术领域

本实用新型涉及太阳能工艺设备技术领域，尤其涉及提高鼓泡均匀性的鼓泡管结构、清洗槽以及清洗设备。

背景技术

随着太阳能光伏行业的发展，晶体硅电池发展的趋势是低成本、高效率、大产量。其中高效率意味着，对清洗槽的清洗能力要求越来越高，这种要求主要体现在清洗槽的循环、溢流均匀性及鼓泡功能上。

现有鼓泡管结构如图1至3所示，主管路1设有进气接口3，多根副管路21通过弯头串联连接形成副管路组件2，副管路组件2的两端接在主管路1上，副管路21设有两组出气孔，两组出气孔的出气方向相反，位于不同组的出气孔211在副管路21的轴向上一一对齐。这种鼓泡管结构在气压流量小的情况下，清洗槽内的鼓泡很不均匀，导致槽内的药液浓度也不均匀，最终导致硅片腐蚀不均匀，严重影响了硅片的良品率。但如果把气压流量调大，槽内的鼓泡看上去都是在鼓泡，但直接导致客户的氮气用量增大，成本直线上升，花篮内的硅片由于鼓泡太大，导致硅片飘动，机械手去提篮时，硅片在花篮内排列不整齐，放到下一个槽内时，有的硅片就会碰到档条上，导致碎片率直线上升。

因此，如何设计提高鼓泡均匀性的鼓泡管结构、清洗槽以及清洗设备是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决现有鼓泡管鼓泡不均匀的缺陷，本实用新型提出鼓泡管结构、清洗槽以及清洗设备，该鼓泡管结构具有鼓泡均匀、节约氮气、减少硅片碎片率、提高硅片良品率等诸多优点。

本实用新型采用的技术方案是，设计鼓泡管结构，包括：具有进气接口的主管路和与主管路连接的副管路组件，副管路组件包括分布有出气孔的至少一个副管路，副管路的两端分别为靠近主管路的首端和远离主管路的末端，每个副管路的首端均接在主管路上，且出气孔在副管路的轴向上错位分布。

优选的，副管路设有至少两组出气孔，位于同一组的出气孔沿副管路的轴向直线排列，位于不同组的出气孔在副管路的轴向上错位分布。

在一些实施例中，副管路设有由多个第一出气孔构成的第一组出气孔和由多个第二出气孔构成的第二组出气孔，第一出气孔和第二出气孔的出气方向相反，且相邻两个第一出气孔之间的相对侧壁中间位置对应设有一个第二出气孔。

优选的，副管路组件包括至少两个副管路，同一组副管路组件中的副管路的末端相互连接。

优选的，进气接口居中设置在主管路上，进气接口的两侧对称设置有副管路组件。

在一些实施例中，进气接口的两侧各设有一个副管路组件。

优选的，所有副管路相互平行且等距间隔排列。

在一些实施例中，副管路的管径为20mm，位于同一组的相邻两个出气孔之间的孔距为30mm，每个出气孔的孔径为0.3mm。在其他的实施方式中也可以根据需求调整孔距与孔径。

本实用新型还提出了清洗槽，包括：主槽体以及用于收集主槽体溢流的溶液的副槽体，主槽体内设有上述的鼓泡管结构。

本实用新型还提出了清洗设备，该清洗设备设有至少一个上述的清洗槽。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1、每个副管路的首端均直接接在主管路上，副管路的管程短、压降损失低，能够以较低气压满足所有出气孔的出气需求，节约惰性气体用量；