[实用新型]一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉有效
| 申请号： | 202221118252.0 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN217499491U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 钱苏宁 | 申请（专利权）人： | 芜湖东旭光电装备技术有限公司;芜湖中浦智能装备有限公司;北京远大信达科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B15/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 于海峰;刘铁生 |
| 地址： | 241000 安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉，涉及半导体技术领域。其中，籽晶杆提拉机构包括支撑架、升降架、升降装置和基座；支撑架转动连接于基座，升降装置设于支撑架上，升降架的一端驱动连接于升降装置，升降架的另一端连接于籽晶杆。本申请的技术方案，通过支撑架上的升降装置驱动籽晶杆进行升降，通过基座与支撑架连接并提供支撑，且支撑架可相对于基座转动，从而能够调整籽晶杆的轴向位置，便于拿取籽晶或晶体，以解决现有技术中操作不便的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 杆提拉 机构 晶体生长 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芜湖东旭光电装备技术有限公司;芜湖中浦智能装备有限公司;北京远大信达科技有限公司，未经芜湖东旭光电装备技术有限公司;芜湖中浦智能装备有限公司;北京远大信达科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202221118252.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：料桶搬运装置
- 下一篇：数字化模块式智能表箱
