[实用新型]一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉

说明书

本申请提供一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉，涉及半导体技术领域。其中，籽晶杆提拉机构包括支撑架、升降架、升降装置和基座；支撑架转动连接于基座，升降装置设于支撑架上，升降架的一端驱动连接于升降装置，升降架的另一端连接于籽晶杆。本申请的技术方案，通过支撑架上的升降装置驱动籽晶杆进行升降，通过基座与支撑架连接并提供支撑，且支撑架可相对于基座转动，从而能够调整籽晶杆的轴向位置，便于拿取籽晶或晶体，以解决现有技术中操作不便的问题。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉。

背景技术

蓝宝石晶体是一种优良的单晶材料，被广泛应用于衬底基片、激光基片、光学元件等众多半导体领域。蓝宝石晶体可以通过多种方法制备，如提拉法，其具体过程是：原料在坩埚中被加热至熔化，形成熔体，籽晶接触到熔体，当籽晶和熔体的固液界面存在温度差时(籽晶温度低于熔体温度)，熔体过冷而开始在籽晶的表面凝固，并生长成与籽晶相同晶体结构的单晶，即晶体生长。晶体向四周生长，需要缓慢地将籽晶向上拉升，为晶体生长提供空间，并以一定转速旋转，使熔体逐渐凝固在籽晶的固液界面上，且晶体在生长的过程中始终不与坩埚壁接触。

现有技术中，通常在坩埚上方设置一根可以旋转和升降的籽晶杆，籽晶装在籽晶杆的底端。由于在晶体生长过程中，籽晶或晶体不能与坩埚壁接触，籽晶杆通常设置在坩埚的中心，因此，在取放籽晶或晶体时非常不便；另外，籽晶杆通常由在其顶部设置的电机驱动进行旋转或升降，晶体生长结束后，电机驱动籽晶杆下降过程较为缓慢，而影响生产效率。

因此，需要一种提拉机构，以解决取放籽晶或晶体时操作不便、和晶体生长结束后籽晶杆下降过程慢的问题。

实用新型内容

本申请的主要目的在于，提供一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉，以至少解决取放籽晶或晶体时操作不便、和晶体生长结束后籽晶杆下降过程慢的问题的其中之一。

为解决上述技术问题，本申请实施例提供如下技术方案：

一方面本申请提供一种籽晶杆提拉机构，所述提拉机构包括支撑架、升降架、升降装置和基座；其中，

所述支撑架转动连接于所述基座，所述升降装置设于所述支撑架上，所述升降架的一端驱动连接于所述升降装置，所述升降架的另一端连接于籽晶杆。

优选地，所述支撑架包括支撑板、顶板、和设于所述支撑板与所述顶板之间的至少一个立柱和至少一个导轨板；

所述支撑板位于所述顶板下方，至少一个所述导轨板位于所述支撑板的一端，所述导轨板上设有导轨，所述升降架滑动连接于所述导轨。

优选地，所述升降装置包括电动升降组件，所述电动升降组件包括丝杠、第一传动装置和电机；其中，

所述丝杠的顶部和底部分别转动连接于所述顶板和所述支撑板，且所述丝杠与所述导轨平行设置，所述第一传动装置分别连接于所述电机和所述丝杠的底部，所述电机驱动所述第一传动装置运动，以使所述丝杠转动。

优选地，所述第一传动装置包括蜗轮和蜗杆，所述电机的输出轴与所述蜗杆的一端相连接，所述蜗杆与所述蜗轮啮合连接，所述蜗轮套设于所述丝杠，所述电机通过所述第一传动装置驱动所述丝杠转动。

优选地，所述第一传动装置还包括减速器，所述电机的输出轴连接于所述减速器的输入端，所述减速器的输出端连接于所述蜗杆的所述一端。

优选地，所述升降装置还包括手动升降组件，所述手动升降组件包括手轮、手轮轴和第二传动装置，所述手轮连接于所述手轮轴，所述第二传动装置分别连接于所述丝杠的底部和所述手轮轴，所述手轮转动能够带动所述手轮轴转动，以通过所述第二传动装置驱动所述丝杠转动。