[实用新型]一种籽晶杆提拉机构及晶体生长炉有效

专利信息
申请号: 202221118252.0 申请日: 2022-05-11
公开(公告)号: CN217499491U 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 钱苏宁 申请(专利权)人: 芜湖东旭光电装备技术有限公司;芜湖中浦智能装备有限公司;北京远大信达科技有限公司
主分类号: C30B15/30 分类号: C30B15/30;C30B15/00;C30B29/20
代理公司: 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 代理人: 于海峰;刘铁生
地址: 241000 安徽省芜*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 籽晶 杆提拉 机构 晶体生长
【权利要求书】:

1.一种籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述提拉机构包括支撑架、升降架、升降装置和基座;其中,

所述支撑架转动连接于所述基座,所述升降装置设于所述支撑架上,所述升降架的一端驱动连接于所述升降装置,所述升降架的另一端连接于籽晶杆。

2.根据权利要求1所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述支撑架包括支撑板、顶板、和设于所述支撑板与所述顶板之间的至少一个立柱和至少一个导轨板;

所述支撑板位于所述顶板下方,至少一个所述导轨板位于所述支撑板的一端,所述导轨板上设有导轨,所述升降架滑动连接于所述导轨。

3.根据权利要求2所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述升降装置包括电动升降组件,所述电动升降组件包括丝杠、第一传动装置和电机;其中,

所述丝杠的顶部和底部分别转动连接于所述顶板和所述支撑板,且所述丝杠与所述导轨平行设置,所述第一传动装置分别连接于所述电机和所述丝杠,所述电机驱动所述第一传动装置运动,以使所述丝杠转动。

4.根据权利要求3所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述第一传动装置包括蜗轮和蜗杆,所述电机的输出轴与所述蜗杆的一端相连接,所述蜗杆与所述蜗轮啮合连接,所述蜗轮套设于所述丝杠,所述电机通过所述第一传动装置驱动所述丝杠转动。

5.根据权利要求4所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述第一传动装置还包括减速器,所述电机的输出轴连接于所述减速器的输入端,所述减速器的输出端连接于所述蜗杆的所述一端。

6.根据权利要求4所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述升降装置还包括手动升降组件,所述手动升降组件包括手轮、手轮轴和第二传动装置,所述手轮连接于所述手轮轴,所述第二传动装置分别连接于所述丝杠的底部和所述手轮轴,所述手轮转动能够带动所述手轮轴转动,以通过所述第二传动装置驱动所述丝杠转动。

7.根据权利要求6所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述第二传动装置包括主动齿轮、从动齿轮和齿轮轴,所述主动齿轮连接于所述齿轮轴的一端,所述齿轮轴的另一端与所述手轮轴通过第一联轴器相连接,所述从动齿轮与所述主动齿轮啮合,且所述从动齿轮的轴向与所述主动齿轮的轴向垂直;

所述从动齿轮套设于所述丝杠的底部。

8.根据权利要求6所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述升降装置还包括离合器,所述离合器包括动盘和衔铁,所述动盘与所述丝杠相连接,所述衔铁与所述蜗轮相连接,所述动盘和所述衔铁能够在通电时吸合以使所述蜗轮带动所述丝杠同步转动。

9.根据权利要求3所述的籽晶杆提拉机构,其特征在于,所述升降架上设有与所述导轨适配的滑块,所述升降架的所述一端设有螺纹孔,所述升降架通过所述螺纹孔螺纹连接于所述丝杠,所述滑块可滑动地卡接于所述导轨;

所述基座上设有竖直设置的基轴,所述支撑板的另一端设有连接孔,所述连接孔通过第一轴承与所述基轴的顶端转动连接。

10.一种晶体生长炉,其特征在于,包括籽晶杆、坩埚和根据权利要求1至9中任一项所述的籽晶杆提拉机构,所述籽晶杆提拉机构驱动所述籽晶杆沿所述坩埚的轴向升降、或转动至偏离所述坩埚的轴向。

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