[实用新型]一种单晶生长装置有效
申请号: | 202221088694.5 | 申请日: | 2022-05-07 |
公开(公告)号: | CN218059295U | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 周振翔;倪代秦;魏华阳;李丹;李康;赵小玻;李勇;赵鹏;何敬晖;高崇;袁雷;陈建荣;黄存新 | 申请(专利权)人: | 中材人工晶体研究院(山东)有限公司;中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36;C30B29/40 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 何家鹏;高莺然 |
地址: | 250200 山东省济南市章丘区官庄*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请实施例提供单晶生长装置,包括:炉体和位于炉体内部的保温结构;保温结构内部具有密闭的腔体,腔体用于盛放坩埚,沿炉体的高度方向,保温结构包括位于坩埚上方的第一保温层、位于坩埚下方的第二保温层以及环绕坩埚外周的第三保温层;第一保温层包括中心部和围绕中心部外侧的外围部,中心部能够相对于外围部上下运动,以使保温结构密封或者具有一定的开口,外围部靠近坩埚的一端设有第一控温件,第一控温件和中心部之间设有第一加热件,第一加热件与第一控温件和中心部之间均具有预设距离。该单晶生长装置,能够优化单晶生长装置中坩埚内的温度分布,提高晶体生长质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 生长 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中材人工晶体研究院(山东)有限公司;中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司,未经中材人工晶体研究院(山东)有限公司;中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202221088694.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。