[实用新型]一种单晶生长装置有效

专利信息
申请号: 202221088694.5 申请日: 2022-05-07
公开(公告)号: CN218059295U 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 周振翔;倪代秦;魏华阳;李丹;李康;赵小玻;李勇;赵鹏;何敬晖;高崇;袁雷;陈建荣;黄存新 申请(专利权)人: 中材人工晶体研究院(山东)有限公司;中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00;C30B29/36;C30B29/40
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 何家鹏;高莺然
地址: 250200 山东省济南市章丘区官庄*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请实施例提供单晶生长装置,包括:炉体和位于炉体内部的保温结构;保温结构内部具有密闭的腔体,腔体用于盛放坩埚,沿炉体的高度方向,保温结构包括位于坩埚上方的第一保温层、位于坩埚下方的第二保温层以及环绕坩埚外周的第三保温层;第一保温层包括中心部和围绕中心部外侧的外围部,中心部能够相对于外围部上下运动,以使保温结构密封或者具有一定的开口,外围部靠近坩埚的一端设有第一控温件,第一控温件和中心部之间设有第一加热件,第一加热件与第一控温件和中心部之间均具有预设距离。该单晶生长装置,能够优化单晶生长装置中坩埚内的温度分布,提高晶体生长质量。
搜索关键词: 一种 生长 装置
【主权项】:
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