[实用新型]一种氮化镓分段加热外延炉

摘要

本实用新型涉及氮化镓制备设备技术领域，尤其涉及一种氮化镓分段加热外延炉，包括炉底座，所述炉底座的顶部设置有炉盖，并且炉盖的内侧固定连接有炉胆，所述炉胆呈矩形箱体状，并且炉胆的底部为贯通结构，所述炉胆沿炉盖内侧从前之后并排设置有多个。本实用新型通过改进原有的炉结构，使用矩形炉腔结构，利用多个炉胆将矩形炉腔分隔为多个加热区域，使生长杆以回型布置于各加热区域，不同加热区域之间被炉胆分隔，保证单独炉胆区域内的温度差异，进而保障分段加热效果，大幅缩小了的炉结构的体积，相较于狭长的炉体结构，更加易于设备的摆放布局使用，可分离式炉腔结构设计，更加便于对炉内结构的维护清洁作业。