[实用新型]一种等离子体设备的电极板位置调节装置有效
| 申请号： | 202220976399.7 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN217741970U | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 袁康;殷宇平 | 申请（专利权）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 马正红 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体设备的电极板位置调节装置，包括可调节高低的侧边承托机构和可调节高低的导电插头连接机构，所述侧边承托机构安装于电极板两侧，所述导电插头连接机构连接于电极板与导电插头之间。本实用新型与现有技术相比的优点是：可根据工艺均匀性的结论来调节电极板的位置、间距，间接调整对应电极板位置的去胶速率，可有效地让整个腔体内部的去胶速率达到一致的水平，提高了整体去胶速率的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 设备 极板 位置 调节 装置 | ||
【主权项】：
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