[实用新型]一种等离子体设备的电极板位置调节装置有效
| 申请号： | 202220976399.7 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN217741970U | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 袁康;殷宇平 | 申请（专利权）人： | 上海稷以科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 马正红 |
| 地址： | 201100 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 设备 极板 位置 调节 装置 | ||
1.一种等离子体设备的电极板位置调节装置，其特征在于：包括可调节高低的侧边承托机构和可调节高低的导电插头连接机构，所述侧边承托机构安装于电极板两侧，所述导电插头连接机构连接于电极板与导电插头之间。
2.根据权利要求1所述的一种等离子体设备的电极板位置调节装置，其特征在于：所述侧边承托机构包括螺母件、调节螺杆件和绝缘陶瓷支架，所述螺母件一侧连接有支撑滚轮，支撑滚轮安装并行走于等离子体设备腔体内壁的滑轨上；所述绝缘陶瓷支架上设有连接孔，所述调节螺杆件上端与绝缘陶瓷支架可旋转插接。
3.根据权利要求2所述的一种等离子体设备的电极板位置调节装置，其特征在于：所述连接孔为半沉孔，所述调节螺杆件上端设有与半沉孔匹配的半沉头，所述调节螺杆件上端半沉头可旋转插接于半沉孔中。
4.根据权利要求1所述的一种等离子体设备的电极板位置调节装置，其特征在于：所述导电插头连接机构包括调节块和电极板连接端，调节块外侧连接有导电插头，导电插头插接于电极柱上的插槽；所述调节块上设有腰形孔，所述电极板连接端的一端设有丝孔，并通过调节块上腰形孔中的顶丝或螺丝锁紧连接，电极板连接端的另一端与电极板连接。
5.根据权利要求4所述的一种等离子体设备的电极板位置调节装置，其特征在于：所述调节块呈“匚”形，所述腰形孔设置在其两侧，所述电极板连接端的一端置入调节块内部，所述丝孔设置在电极板连接端两侧，并通过顶丝或螺丝来锁紧连接。
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