[实用新型]一种HWCVD设备镀膜腔体

摘要

本实用新型公开了一种HWCVD设备镀膜腔体，单个腔体内设置多排热丝与多块载板，各载板与所面向的热丝排间的距离是1‑13cm，且各载板与相邻热丝排间距相同或不同，热丝排内相邻热丝间距是1‑13cm，且热丝排内各热丝间距相同或不同。采用本实用新型腔体镀膜不仅可保持各载板镀膜的一致性，而且样品的镀膜温度和镀膜速率也可明显提升，从而实现了设备产能的数倍提升和设备单产能能耗的下降，大幅度降低设备制造成本和设备运营成本。热丝本身也是热源，多排热丝减少了单位热丝能量的损失，结合热丝排与载板间距和热丝排内热丝间距的调整可以非常方便的实现高温镀膜，更有利于制备topcon这类需要高温镀膜条件的太阳能电池。