[实用新型]一种芯片侧面缺陷检测装置有效
| 申请号： | 202220895714.3 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN217332213U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 邹巍;庄彤;欧阳衡;钟建平;刘兵生 | 申请（专利权）人： | 广州诺顶智能科技有限公司;广州天极电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人： | 潘桂生 |
| 地址： | 510000 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种芯片侧面缺陷检测装置，包括支撑柱、棱镜组、光源、底座、转角镜和视觉模块。所述芯片侧面缺陷检测装置利用反射棱镜进行芯片侧面图像的传递，节约了空间并节省相机调试的时间，所述光源设置于所述棱镜组与所述底座之间，并设置所述转角镜以对图像方向进行转换，所述视觉模块可与所述棱镜组相互垂直设置，并设置所述转角镜进行图像方向的转换，所需安装空间小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 侧面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
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