[实用新型]一种超高真空分子泵

摘要

本实用新型公开了一种超高真空分子泵，涉及分子泵技术领域，具体为一种超高真空分子泵，包括安装底座，所述安装底座的顶部固定安装有气室，且气室的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳，所述气室的外部设置有出气管，所述安装底座的内部设置有驱动电机，且驱动电机的输出轴上固定连接有传动轴，所述传动轴的外部活动套装有连接套管。该超高真空分子泵，将限位压环旋出，解除对连接套管以及静涡轮叶片的限制，可将连接套管整体与静涡轮叶片沿安装外壳内部取出，动涡轮叶片通过锁定螺钉与连接套管固定连接，将锁定螺钉旋出，即可对动涡轮叶片、静涡轮叶片进行检修或者更换，降低操作难度，进一步降低劳动强度。