[实用新型]一种超高真空分子泵

说明书

本实用新型公开了一种超高真空分子泵，涉及分子泵技术领域，具体为一种超高真空分子泵，包括安装底座，所述安装底座的顶部固定安装有气室，且气室的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳，所述气室的外部设置有出气管，所述安装底座的内部设置有驱动电机，且驱动电机的输出轴上固定连接有传动轴，所述传动轴的外部活动套装有连接套管。该超高真空分子泵，将限位压环旋出，解除对连接套管以及静涡轮叶片的限制，可将连接套管整体与静涡轮叶片沿安装外壳内部取出，动涡轮叶片通过锁定螺钉与连接套管固定连接，将锁定螺钉旋出，即可对动涡轮叶片、静涡轮叶片进行检修或者更换，降低操作难度，进一步降低劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体为一种超高真空分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

目前超高真空分子泵中的动涡轮叶片和静涡轮叶片安装结构较为复杂，当检修或者更换叶片时，需要对壳体、电机轴等大量结构进行拆卸，操作繁琐，导致工作人员劳动强度增加，为此我们提出一种超高真空分子泵以解决上述提出的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种超高真空分子泵，具有便于对叶轮进行拆装等优点，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种超高真空分子泵，包括安装底座，所述安装底座的顶部固定安装有气室，且气室的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳，所述气室的外部设置有出气管，所述安装底座的内部设置有驱动电机，且驱动电机的输出轴上固定连接有传动轴，所述传动轴的外部活动套装有连接套管，所述连接套管的外部卡拆卸式固定安装有动涡轮叶片，所述连接套管的外部活动套装有静涡轮叶片，且静涡轮叶片的周侧固定连接有连接套环，所述安装外壳内部的上方螺纹连接有限位压环。

优选的，所述传动轴外部的下方固定套装有与连接套管相互配合的定位环，所述传动轴的外部与连接套管的内部开设有相互配合的定位条与定位槽。

优选的，所述动涡轮叶片的中部螺纹连接有锁定螺钉，所述动涡轮叶片通过锁定螺钉与连接套管固定连接，所述动涡轮叶片的中部与连接套管的外部开设有相互配合的限位条与限位槽。

优选的，所述静涡轮叶片的中部开设有通孔，且通孔的直径值比连接套管的直径值大2-5毫米，所述静涡轮叶片与动涡轮叶片交错分布于连接套管的外部。

优选的，所述连接套环的周侧与安装外壳的内部开设有相互配合的滑块与滑槽，所述连接套环的底部固定安装有均匀分布的支撑柱。

优选的，所述限位压环的中部固定安装有定位套管，且定位套管的内部活动套装有连接轴承，所述定位套管通过连接轴承与传动轴的顶端活动连接。

本实用新型提供了一种超高真空分子泵，具备以下有益效果：

1、该超高真空分子泵，将限位压环旋出，解除对连接套管以及静涡轮叶片的限制，可将连接套管整体与静涡轮叶片沿安装外壳内部取出，动涡轮叶片通过锁定螺钉与连接套管固定连接，将锁定螺钉旋出，即可对动涡轮叶片、静涡轮叶片进行检修或者更换，降低操作难度，进一步降低劳动强度。

2、该超高真空分子泵，通过锁定螺钉将动涡轮叶片固定在连接套管上，并通过滑槽以及支撑柱对多个静涡轮叶片的位置进行限制，保证了静涡轮叶片、动涡轮叶片相对位置的稳定性，防止静涡轮叶片、动涡轮叶片工作时产生干涉，在将动涡轮叶片套装在连接套管外部后，将静涡轮叶片交错卡在动涡轮叶片之间，通过连接套环外部的滑块与安装外壳内部的滑槽相互配合对静涡轮叶片位置进行限制，并将连接套管套在传动轴可对动涡轮叶片、静涡轮叶片进行定位安装，安装较为简便。

附图说明