[实用新型]一种超高真空分子泵

权利要求书

1.一种超高真空分子泵，包括安装底座（1），其特征在于：所述安装底座（1）的顶部固定安装有气室（2），且气室（2）的顶部可拆卸式固定安装有安装外壳（3），所述气室（2）的外部设置有出气管（4），所述安装底座（1）的内部设置有驱动电机（5），且驱动电机（5）的输出轴上固定连接有传动轴（6），所述传动轴（6）的外部活动套装有连接套管（7），所述连接套管（7）的外部卡拆卸式固定安装有动涡轮叶片（8），所述连接套管（7）的外部活动套装有静涡轮叶片（9），且静涡轮叶片（9）的周侧固定连接有连接套环（14），所述安装外壳（3）内部的上方螺纹连接有限位压环（11）。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述传动轴（6）外部的下方固定套装有与连接套管（7）相互配合的定位环，所述传动轴（6）的外部与连接套管（7）的内部开设有相互配合的定位条与定位槽。

3.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述动涡轮叶片（8）的中部螺纹连接有锁定螺钉（13），所述动涡轮叶片（8）通过锁定螺钉（13）与连接套管（7）固定连接，所述动涡轮叶片（8）的中部与连接套管（7）的外部开设有相互配合的限位条与限位槽。

4.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述静涡轮叶片（9）的中部开设有通孔，且通孔的直径值比连接套管（7）的直径值大2-5毫米，所述静涡轮叶片（9）与动涡轮叶片（8）交错分布于连接套管（7）的外部。

5.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述连接套环（14）的周侧与安装外壳（3）的内部开设有相互配合的滑块与滑槽，所述连接套环（14）的底部固定安装有均匀分布的支撑柱（15）。

6.根据权利要求1所述的一种超高真空分子泵，其特征在于：所述限位压环（11）的中部固定安装有定位套管（10），且定位套管（10）的内部活动套装有连接轴承（12），所述定位套管（10）通过连接轴承（12）与传动轴（6）的顶端活动连接。