[实用新型]一种刻蚀系统及太阳能电池片生产系统

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀系统，用于磷扩散后的硅片，包括SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元、第二检测单元和控制模块；所述SE激光单元用于对硅片进行激光重掺杂；所述第一检测单元与SE激光单元连接，用于对SE激光单元激光重掺杂后的硅片进行称重；所述刻蚀单元与第一检测单元连接，用于对第一检测单元称重后的硅片进行刻蚀；所述第二检测单元与刻蚀单元连接，用于对刻蚀单元刻蚀后的硅片进行称重；所述SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元和第二检测单元与控制模块电连接。采用本实用新型能够有效检测硅片的重量变化情况，节省人力及时间，有效提高生产效率及产能，有效把控硅片质量。