[实用新型]一种刻蚀系统及太阳能电池片生产系统

说明书

本实用新型公开了一种刻蚀系统，用于磷扩散后的硅片，包括SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元、第二检测单元和控制模块；所述SE激光单元用于对硅片进行激光重掺杂；所述第一检测单元与SE激光单元连接，用于对SE激光单元激光重掺杂后的硅片进行称重；所述刻蚀单元与第一检测单元连接，用于对第一检测单元称重后的硅片进行刻蚀；所述第二检测单元与刻蚀单元连接，用于对刻蚀单元刻蚀后的硅片进行称重；所述SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元和第二检测单元与控制模块电连接。采用本实用新型能够有效检测硅片的重量变化情况，节省人力及时间，有效提高生产效率及产能，有效把控硅片质量。

技术领域

本实用新型涉及硅太阳能电池制造设备技术领域，尤其涉及一种刻蚀系统和太阳能电池片生产系统。

背景技术

太阳能电池制作过程中，因可以改善与银浆的接触并产生高低结，激光重掺已经成为PERC电池生产的必要工序。现有的硅片生产系统中，SE激光重掺杂后没有对硅片质量进行测量，而SE激光重掺杂后质量的变化会影响硅片的整体性能，因而硅片的质量难以得到有效的保障。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种刻蚀系统，能够有效检测硅片的重量变化情况，节省人力及时间，有效提高生产效率及产能，有效把控硅片质量。

本实用新型还要解决的技术问题在于，提供一种太阳能电池片生产系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种刻蚀系统，用于磷扩散后的硅片，包括SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元、第二检测单元和控制模块；

所述SE激光单元用于对硅片进行激光重掺杂；

所述第一检测单元与SE激光单元连接，用于对SE激光单元激光重掺杂后的硅片进行称重；

所述刻蚀单元与第一检测单元连接，用于对第一检测单元称重后的硅片进行刻蚀；

所述第二检测单元与刻蚀单元连接，用于对刻蚀单元刻蚀后的硅片进行称重；

所述SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元和第二检测单元与控制模块电连接。

作为上述方案的改进，第一检测单元设有第一称重设备，所述第一称重设备用于称量经所述SE激光单元激光重掺杂后的硅片的重量。

作为上述方案的改进，所述第二检测单元设有第二称重设备，所述第二称重设备用于称量经所述刻蚀单元刻蚀后的硅片的重量。

作为上述方案的改进，所述第一称重设备和第二称重设备为皮带秤。

作为上述方案的改进，所述第一检测单元设有第一红外定位传感器，所述第一红外定位传感器用于定位所述硅片。

作为上述方案的改进，所述第二检测单元设有第二红外定位传感器，所述第二红外定位传感器用于定位所述硅片。

作为上述方案的改进，还包括第一回收单元和第二回收单元；

所述第一回收单元设于第一检测单元和刻蚀单元之间，用于对控制模块判断不合格的硅片进行回收；

所述第二回收单元与所述第二检测单元连接，用于对控制模块判断不合格的硅片进行回收；

所述第一回收单元和第二回收单元与所述控制模块电连接。

作为上述方案的改进，所述第一回收单元和第二回收单元设有机械手。

作为上述方案的改进，还包括设于第一检测单元之后的拍摄模块，所述拍摄模块用于对SE激光单元激光重掺杂后的硅片进行拍摄；所述拍摄模块与控制模块电连接。

相应地，本实用新型还提供了一种太阳能电池片生产系统，包括如上所述的刻蚀系统。