[实用新型]一种刻蚀系统及太阳能电池片生产系统

权利要求书

1.一种刻蚀系统，用于磷扩散后的硅片，其特征在于，包括SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元、第二检测单元和控制模块；

所述SE激光单元用于对硅片进行激光重掺杂；

所述第一检测单元与SE激光单元连接，用于对SE激光单元激光重掺杂后的硅片进行称重；

所述刻蚀单元与第一检测单元连接，用于对第一检测单元称重后的硅片进行刻蚀；

所述第二检测单元与刻蚀单元连接，用于对刻蚀单元刻蚀后的硅片进行称重；

所述SE激光单元、第一检测单元、刻蚀单元和第二检测单元与控制模块电连接。

2.如权利要求1所述的刻蚀系统，其特征在于，第一检测单元设有第一称重设备，所述第一称重设备用于称量经所述SE激光单元激光重掺杂后的硅片的重量。

3.如权利要求2所述的刻蚀系统，其特征在于，所述第二检测单元设有第二称重设备，所述第二称重设备用于称量经所述刻蚀单元刻蚀后的硅片的重量。

4.如权利要求3所述的刻蚀系统，其特征在于，所述第一称重设备和第二称重设备为皮带秤。

5.如权利要求3所述的刻蚀系统，其特征在于，所述第一检测单元设有第一红外定位传感器，所述第一红外定位传感器用于定位所述硅片。

6.如权利要求3所述的刻蚀系统，其特征在于，所述第二检测单元设有第二红外定位传感器，所述第二红外定位传感器用于定位所述硅片。

7.如权利要求1所述的刻蚀系统，其特征在于，还包括第一回收单元和第二回收单元；

所述第一回收单元设于第一检测单元和刻蚀单元之间，用于对控制模块判断不合格的硅片进行回收；

所述第二回收单元与所述第二检测单元连接，用于对控制模块判断不合格的硅片进行回收；

所述第一回收单元和第二回收单元与所述控制模块电连接。

8.如权利要求7所述的刻蚀系统，其特征在于，所述第一回收单元和第二回收单元设有机械手。

9.如权利要求1所述的刻蚀系统，其特征在于，还包括设于第一检测单元之后的拍摄模块，所述拍摄模块用于对SE激光单元激光重掺杂后的硅片进行拍摄；所述拍摄模块与控制模块电连接。

10.一种太阳能电池片生产系统，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的刻蚀系统。