[实用新型]一种单晶硅片摆盘机有效
| 申请号： | 202220820782.3 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN217229416U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 吕明;郭城;李充;王永超;石秀花;王华 | 申请（专利权）人： | 山东科芯电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G65/32 |
| 代理公司： | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 37268 | 代理人： | 杜超 |
| 地址： | 250200 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅片摆盘机，包括桌板，所述桌板下表面四个角均固定有支撑脚，所述桌板上表面一侧固定有X轴移动机构，所述X轴移动机构顶端设有立柱。本实用新型中，设置有桌板、X轴移动机构、立柱、Y轴移动机构、气缸、移动盘、吸盘、抽气泵和送料机构，从而可以通过X轴移动机构带动立柱和Y轴移动机构在X轴方向上移动，然后通过Y轴移动机构带动气缸和吸盘在Y轴方向上移动，由此实现气泵和吸盘在X轴和Y轴方向的自由移动，再由气缸带动吸盘下降对硅片进行抓取，最后通过X轴移动机构和Y轴移动机构的协作将硅片摆在传送设备的托盘表面，该摆盘机完全实现自动化摆盘，降低工人劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 片摆盘机 | ||
【主权项】：
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