[实用新型]一种单晶硅片摆盘机

权利要求书

1.一种单晶硅片摆盘机，其特征在于：包括桌板（1），所述桌板（1）下表面四个角均固定有支撑脚（2），所述桌板（1）上表面一侧固定有X轴移动机构（3），所述X轴移动机构（3）顶端设有立柱（4），所述立柱（4）顶端固定有Y轴移动机构（5），所述Y轴移动机构（5）底端设有气缸（6），所述气缸（6）底部伸缩端固定有移动盘（7），所述移动盘（7）下表面设有多个吸盘（8），所述桌板（1）中部远离X轴移动机构（3）一侧嵌设有送料机构（11）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片摆盘机，其特征在于：所述气缸（6）侧壁固定有抽气泵（9），所述抽气泵（9）抽吸口连接有多个连接管（10），且多个连接管（10）另一端分别与多个吸盘（8）连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片摆盘机，其特征在于：所述Y轴移动机构（5）包括第二滑轨（51），且第二滑轨（51）远离立柱（4）的一端延伸出桌板（1），所述第二滑轨（51）底部凹槽内转动连接有第二丝杆（52），所述第二丝杆（52）表面螺纹转动连接有第二滑块（53），且第二滑块（53）与第二滑轨（51）底部凹槽滑动连接，所述第二滑轨（51）外侧壁固定连接有第二电机（54），所述第二丝杆（52）一端与第二电机（54）驱动端固定连接，所述第二滑块（53）下表面与气缸（6）顶端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片摆盘机，其特征在于：所述X轴移动机构（3）包括第一滑轨（31），且第一滑轨（31）顶部凹槽内转动连接有第一丝杆（32），所述第一丝杆（32）表面螺纹转动连接有第一滑块（33），且第一滑块（33）与第一滑轨（31）顶部凹槽滑动连接，所述第一滑轨（31）外侧壁固定连接有第一电机（34），所述第一丝杆（32）一端与第一电机（34）驱动端固定连接，所述第一滑块（33）上表面与立柱（4）底端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片摆盘机，其特征在于：所述送料机构（11）包括料斗（111），所述料斗（111）顶端和远离X轴移动机构（3）一侧均为敞开设计，所述料斗（111）底部固定有电动伸缩杆（113），所述电动伸缩杆（113）顶部伸缩端穿过料斗（111）底壁并固定连接有升降板（112），所述升降板（112）表面设有堆叠的晶片。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片摆盘机，其特征在于：所述料斗（111）顶端设有顶侧板（114），且顶侧板（114）下表面固定有接触开关（115），所述桌板（1）上表面设有报警器（12），且报警器（12）与接触开关（115）电性连接。