[实用新型]一种单晶硅片摆盘机

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片摆盘机，包括桌板，所述桌板下表面四个角均固定有支撑脚，所述桌板上表面一侧固定有X轴移动机构，所述X轴移动机构顶端设有立柱。本实用新型中，设置有桌板、X轴移动机构、立柱、Y轴移动机构、气缸、移动盘、吸盘、抽气泵和送料机构，从而可以通过X轴移动机构带动立柱和Y轴移动机构在X轴方向上移动，然后通过Y轴移动机构带动气缸和吸盘在Y轴方向上移动，由此实现气泵和吸盘在X轴和Y轴方向的自由移动，再由气缸带动吸盘下降对硅片进行抓取，最后通过X轴移动机构和Y轴移动机构的协作将硅片摆在传送设备的托盘表面，该摆盘机完全实现自动化摆盘，降低工人劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片生产技术领域，尤其涉及一种单晶硅片摆盘机。

背景技术

单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

单晶硅片在生产完成后需要将其摆放在传送设备表面的托盘里，然后进行检测，而目前单晶硅片的摆放工作依旧依靠人工完成，人工摆盘拿取硅片时，容易误伤硅片，且人工劳动强度大，因此本实用新型提出一种单晶硅片摆盘机。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶硅片摆盘机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种单晶硅片摆盘机，包括桌板，所述桌板下表面四个角均固定有支撑脚，所述桌板上表面一侧固定有X轴移动机构，所述X轴移动机构顶端设有立柱，所述立柱顶端固定有Y轴移动机构，所述Y轴移动机构底端设有气缸，所述气缸底部伸缩端固定有移动盘，所述移动盘下表面设有多个吸盘，所述桌板中部远离X轴移动机构一侧嵌设有送料机构。

进一步的，所述气缸侧壁固定有抽气泵，所述抽气泵抽吸口连接有多个连接管，且多个连接管另一端分别与多个吸盘连接，从而可以通过气缸带动移动盘下降对晶片进行吸附抓取。

进一步的，所述Y轴移动机构包括第二滑轨，且第二滑轨远离立柱的一端延伸出桌板，所述第二滑轨底部凹槽内转动连接有第二丝杆，所述第二丝杆表面螺纹转动连接有第二滑块，且第二滑块与第二滑轨底部凹槽滑动连接，所述第二滑轨外侧壁固定连接有第二电机，所述第二丝杆一端与第二电机驱动端固定连接，所述第二滑块下表面与气缸顶端固定连接，从而通过第二电机带动第二丝杆转动，使得第二滑块带动气缸以及吸盘在Y轴方向上移动。

进一步的，所述X轴移动机构包括第一滑轨，且第一滑轨顶部凹槽内转动连接有第一丝杆，所述第一丝杆表面螺纹转动连接有第一滑块，且第一滑块与第一滑轨顶部凹槽滑动连接，所述第一滑轨外侧壁固定连接有第一电机，所述第一丝杆一端与第一电机驱动端固定连接，所述第一滑块上表面与立柱底端固定连接，从而可以通过第一电机带动第一丝杆转动，使得第一滑块带动立柱以及Y轴移动机构在X轴方向上移动，进而实现气缸以及吸盘在X轴方向上移动。

进一步的，所述送料机构包括料斗，所述料斗顶端和远离X轴移动机构一侧均为敞开设计，所述料斗底部固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆顶部伸缩端穿过料斗底壁并固定连接有升降板，所述升降板表面设有堆叠的晶片，可以通过电动伸缩杆带动升降板不断上升，使得升降板表面的晶片始终处于取料位置。

进一步的，所述料斗顶端设有顶侧板，且顶侧板下表面固定有接触开关，所述桌板上表面设有报警器，且报警器与接触开关电性连接，当升降板上升与接触开关接触后，说明升降板表面的晶片已经被抓取完，此时需要报警器响起，提醒工人重新在升降板表面添加晶片。

本实用新型的有益效果：