[实用新型]一种碳化硅晶体尺寸检测装置有效
| 申请号： | 202220736972.7 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN217132148U | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 沈艳;蔡文必;裴斌;徐谭阳;许佳锋 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 冯洁 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种碳化硅晶体尺寸检测装置，涉及半导体技术领域，该碳化硅晶体尺寸检测装置包括底座、支架、托盘及高度检测器，高度检测器包括第一检测件及第二检测件，第二检测件设置于第一检测件内且该第二检测件能露出于第一检测件，第一检测件用于检测碳化硅晶体的最大高度尺寸，第二检测件均用于检测碳化硅晶体预设直径标记处的的最小高度尺寸。仅通过一台检测机器同时对晶体的最大高度及预设直径标记处的最小高度的检测，避免使用两台不同的仪器对碳化硅晶体进行检测，不仅增大了检测效率，也减小了检测误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体 尺寸 检测 装置 | ||
【主权项】：
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