[实用新型]多层坩埚及具有其的长晶炉有效
| 申请号： | 202220732362.X | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN217149385U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 田野;陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种多层坩埚，包括从内到外依次同轴设置的内坩埚、外坩埚和中坩埚；内坩埚限定出晶体生长空间，中坩埚与内坩埚限定出熔料空间，中坩埚与所述外坩埚限定出加料空间；在熔料空间中，沿内坩埚的周向设置有第一遮挡件，第一遮挡件与内坩埚的侧壁以及中坩埚的侧壁连接；内坩埚的侧壁形成有连通所述晶体生长空间与所述熔料空间的第一过孔，中坩埚的侧壁形成有连通所述熔料空间与所述加料空间的第二过孔。本实用新型还公开一种长晶炉，包括上述多层坩埚。本实用新型能够减少坩埚散热面积，从而减少熔汤热量损失，无需提高加热器功率即可使坩埚内部的料充分熔化。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 坩埚 具有 长晶炉 | ||
【主权项】：
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