[实用新型]多层坩埚及具有其的长晶炉有效
申请号: | 202220732362.X | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN217149385U | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 田野;陈俊宏 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
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地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层 坩埚 具有 长晶炉 | ||
1.一种多层坩埚,其特征在于,包括从内到外依次同轴设置的内坩埚、中坩埚和外坩埚;
所述内坩埚限定出晶体生长空间,所述中坩埚与所述内坩埚限定出熔料空间,所述中坩埚与所述外坩埚限定出加料空间;
在所述熔料空间中,沿所述内坩埚的周向设置有第一遮挡件,所述第一遮挡件与所述内坩埚的侧壁以及所述中坩埚的侧壁连接;
所述内坩埚的侧壁形成有连通所述晶体生长空间与所述熔料空间的第一过孔,所述中坩埚的侧壁形成有连通所述熔料空间与所述加料空间的第二过孔,所述第一过孔靠近所述内坩埚的底壁设置,所述第二过孔靠近所述中坩埚的底壁设置。
2.根据权利要求1所述的一种多层坩埚,其特征在于,在所述外坩埚轴向方向的截面中,所述第一过孔与第二过孔分别设置于内坩埚的轴线两侧。
3.根据权利要求1所述的一种多层坩埚,其特征在于,在所述内坩埚轴向方向的截面中,所述第一遮挡件呈向远离所述内坩埚的底壁凸起的弧形结构。
4.根据权利要求1所述的一种多层坩埚,其特征在于,在所述加料空间中,沿所述中坩埚的周向设置第二遮挡件,所述第二遮挡件与所述外坩埚的侧壁以及所述中坩埚的侧壁连接,所述第二遮挡件沿所述中坩埚的周向具有环形的加料口。
5.根据权利要求4所述的一种多层坩埚,其特征在于,在所述外坩埚轴向方向的截面中,所述第二遮挡件呈向所述外坩埚的底壁凸起的弧形结构。
6.根据权利要求1所述的一种多层坩埚,其特征在于,在所述熔料空间中,沿所述中坩埚的周向设置第三遮挡件,所述第三遮挡件设置于所述第一遮挡件的下方,所述第一遮挡件、所述第三遮挡件、所述内坩埚的侧壁和所述中坩埚的侧壁共同限定出隔热空间。
7.根据权利要求6所述的一种多层坩埚,其特征在于,在所述中坩埚轴向方向的截面中,所述第三遮挡件呈向远离所述外坩埚的底壁凸起的弧形结构,或者呈向所述外坩埚的底壁凸起的弧形结构。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种多层坩埚,其特征在于,所述内坩埚的底壁与所述中坩埚的底壁以及所述外坩埚的底壁叠设连接共同形成多层坩埚的底壁。
9.根据权利要求8所述的一种多层坩埚,其特征在于,所述内坩埚的底壁以其轴线为中心限定出第一底口,所述外坩埚的底壁以其轴线为中心限定出第二底口,在所述中坩埚轴向方向的截面中,所述中坩埚的底壁呈远离熔汤液面的弧形结构,所述中坩埚的底壁延伸至所述第二底口外。
10.一种长晶炉,其特征在于,包括:如权利要求1-9中任一项所述的多层坩埚。
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