[实用新型]一种芯片表面缺陷检测设备有效
| 申请号： | 202220672868.6 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN217332222U | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张朋勇;梅光伟 | 申请（专利权）人： | 武汉来勒光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 代婵 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片表面缺陷检测设备，包括支撑平台，支撑平台上固定有龙门架，龙门架上安装有用于进行芯片取料的芯片取料机构以及用于对芯片正面进行拍摄的正面检测视觉机构，支撑平台上安装有用于对芯片端面进行拍摄的端面检测视觉机构、用于对芯片基底底面进行拍摄的底面检测视觉机构、用于对芯片进行定位并带动芯片旋转的芯片定位机构以及用于承载芯片的料盘，底面检测视觉机构与芯片取料机构配合对芯片基底底面进行检测，端面检测视觉机构与芯片定位机构配合对芯片端面进行检测。本实用新型可对光芯片进行表面缺陷检测，可将光芯片的端面精准移动到检测区域进行缺陷检测，检测完后将合格芯片以及缺陷芯片进行分类装盘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 表面 缺陷 检测 设备 | ||
【主权项】：
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