[实用新型]一种滚动工具和双面抛光机有效
| 申请号： | 202220637212.0 | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN216967409U | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 张宇磊;权林;季文明;胡文才 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/34;B24B37/26 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 张敏 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种滚动工具和双面抛光机，适用于双面抛光机，所述双面抛光机具有相对设置的第一盘面和第二盘面，所述滚动工具设置在所述第一盘面和所述第二盘面之间，所述滚动工具包括：第一固定销环、第二固定销环和至少三个压力滚动装置；所述第一固定销环套设在所述第二固定销环外围，且所述第一固定销环与所述第二固定销环共圆心；每个所述压力滚动装置的一端连接所述第一固定销环，每个所述压力滚动装置的另一端连接所述第二固定销环。本实用新型提供的滚动工具和双面抛光机，能够避免人为操作时部分抛光垫被忽略或操作者力气不均衡导致气泡未被完全排出的问题，从而确保了晶圆在双面抛光阶段的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滚动 工具 双面 抛光机 | ||
【主权项】：
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