[实用新型]一种滚动工具和双面抛光机

说明书

本实用新型提供一种滚动工具和双面抛光机，适用于双面抛光机，所述双面抛光机具有相对设置的第一盘面和第二盘面，所述滚动工具设置在所述第一盘面和所述第二盘面之间，所述滚动工具包括：第一固定销环、第二固定销环和至少三个压力滚动装置；所述第一固定销环套设在所述第二固定销环外围，且所述第一固定销环与所述第二固定销环共圆心；每个所述压力滚动装置的一端连接所述第一固定销环，每个所述压力滚动装置的另一端连接所述第二固定销环。本实用新型提供的滚动工具和双面抛光机，能够避免人为操作时部分抛光垫被忽略或操作者力气不均衡导致气泡未被完全排出的问题，从而确保了晶圆在双面抛光阶段的安全性。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种滚动工具和双面抛光机。

背景技术

半导体制造过程中，当晶圆处于双面抛光阶段时，抛光垫表面的状态对晶圆表面是否被划伤有着直接的影响，特别是对于材质偏硬的抛光垫，更容易影响晶圆表面状态。现有技术在贴抛光垫时，会先在抛光垫背胶处扎孔使抛光垫在贴的过程中能够将空气排出，然后用滚动工具在抛光垫表面整个滚一遍将抛光垫与盘面之间的空气挤出，如果空气未被排出，抛光垫与盘面之间就会形成气泡，气泡的存在会使抛光垫表面凸起。由于抛光垫整张直径有接近2m，若仅通过人员手动使用滚动工具，考虑到抛光垫过大及力气使用大小的原因都可能导致空气无法被完全挤出。

因此，如何提供一种滚动工具和双面抛光机，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种滚动工具和双面抛光机，以解决现有技术存在的在对晶圆进行双面抛光时，因抛光垫与盘面之间存在气泡而导致晶圆表面被划伤的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种滚动工具，适用于双面抛光机，所述双面抛光机具有相对设置的第一盘面和第二盘面，所述滚动工具固定设置在所述第一盘面和所述第二盘面之间，所述滚动工具包括：第一固定销环、第二固定销环和至少三个压力滚动装置；

其中，所述第一固定销环套设在所述第二固定销环外围，且所述第一固定销环与所述第二固定销环共圆心；

每个所述压力滚动装置的一端连接所述第一固定销环，每个所述压力滚动装置的另一端连接所述第二固定销环。

可选的，所述第一盘面和所述第二盘面为环形面；

其中，所述第一固定销环超过所述第一盘面和所述第二盘面的外侧边沿；

所述第二固定销环在所述第一盘面和所述第二盘面的内侧边沿内。

可选的，所述压力滚动装置上设有数个可转动的压力滚轮。

可选的，所述数个压力滚轮以多排错列式设置在所述压力滚动装置上；

所述压力滚轮被配置为：当所述第一盘面和/或所述第二盘面转动后，所述压力滚轮沿所述第一盘面和/或所述第二盘面周向转动。

可选的，任意相邻两排所述压力滚轮组成的滚动面凸出所述第一盘面和所述第二盘面的内外侧边沿。

可选的，所述压力滚轮为圆柱形，任意一个所述压力滚轮的滚动面凸出所述压力滚动装置的第一表面和第二表面；

其中，所述第一表面为所述压力滚动装置面向所述第一盘面的一面；

所述第二表面为所述压力滚动装置面向所述第二盘面的一面。

可选的，所述压力滚动装置与所述第一固定销环和所述第二固定销环相连的两端通过齿轮状连接。

可选的，所述三个压力滚动装置之间等间距设置。

可选的，所述第一固定销环和所述第二固定销环与所述双面抛光机的机台固定连接。