[实用新型]一种滚动工具和双面抛光机有效
申请号: | 202220637212.0 | 申请日: | 2022-03-22 |
公开(公告)号: | CN216967409U | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 张宇磊;权林;季文明;胡文才 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/08 | 分类号: | B24B37/08;B24B37/34;B24B37/26 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 张敏 |
地址: | 201306 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 滚动 工具 双面 抛光机 | ||
1.一种滚动工具,适用于双面抛光机,所述双面抛光机具有相对设置的第一盘面和第二盘面,其特征在于,所述滚动工具固定设置在所述第一盘面和所述第二盘面之间,所述滚动工具包括:第一固定销环、第二固定销环和至少三个压力滚动装置;
其中,所述第一固定销环套设在所述第二固定销环外围,且所述第一固定销环与所述第二固定销环共圆心;
每个所述压力滚动装置的一端连接所述第一固定销环,每个所述压力滚动装置的另一端连接所述第二固定销环。
2.如权利要求1所述的一种滚动工具,其特征在于,所述第一盘面和所述第二盘面为环形面;
其中,所述第一固定销环超过所述第一盘面和所述第二盘面的外侧边沿;
所述第二固定销环在所述第一盘面和所述第二盘面的内侧边沿内。
3.如权利要求2所述的一种滚动工具,其特征在于,所述压力滚动装置上设有数个可转动的压力滚轮。
4.如权利要求3所述的一种滚动工具,其特征在于,所述数个压力滚轮以多排错列式设置在所述压力滚动装置上;
所述压力滚轮被配置为:当所述第一盘面和/或所述第二盘面转动后,所述压力滚轮沿所述第一盘面和/或所述第二盘面周向转动。
5.如权利要求4所述的一种滚动工具,其特征在于,任意相邻两排所述压力滚轮组成的滚动面凸出所述第一盘面和所述第二盘面的内外侧边沿。
6.如权利要求3所述的一种滚动工具,其特征在于,所述压力滚轮为圆柱形,任意一个所述压力滚轮的滚动面凸出所述压力滚动装置的第一表面和第二表面;
其中,所述第一表面为所述压力滚动装置面向所述第一盘面的一面;
所述第二表面为所述压力滚动装置面向所述第二盘面的一面。
7.如权利要求1所述的一种滚动工具,其特征在于,所述压力滚动装置与所述第一固定销环和所述第二固定销环相连的两端通过齿轮状连接。
8.如权利要求1所述的一种滚动工具,其特征在于,所述三个压力滚动装置之间等间距设置。
9.如权利要求1所述的一种滚动工具,其特征在于,所述第一固定销环和所述第二固定销环与所述双面抛光机的机台固定连接。
10.一种双面抛光机,其特征在于,包括权利要求1-9任意一项所述的滚动工具。
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