[实用新型]一种高效的硅片载具检测工装有效
| 申请号： | 202220564896.6 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN217032411U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 宋文化;张永胜;杨肸曦;彭孝龙;董刚强 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 徐会娟 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种高效的硅片载具检测工装，涉及硅片载具检测技术领域，利用定位销和凸台相结合的方式检测硅片载具的定位孔和硅片放置位是否合格，能够实现更高效、更便捷、可靠性更高的硅片载具检测。该检测工装包括底板、若干检测凸起位和若干定位孔检测位；所述检测凸起位和所述定位孔检测位均位设于所述底板上；所述检测凸起位的形状和位置均与标准硅片载具上的硅片放置位匹配；所述定位孔检测位的形状和位置均与所述硅片载具上的定位孔匹配；所述定位孔检测位具体为定位销，所述定位销垂直固定在所述底板上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 硅片 检测 工装 | ||
【主权项】：
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