[实用新型]一种高效的硅片载具检测工装有效
| 申请号： | 202220564896.6 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN217032411U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 宋文化;张永胜;杨肸曦;彭孝龙;董刚强 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 徐会娟 |
| 地址： | 215200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 硅片 检测 工装 | ||
1.一种高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述检测工装包括底板、若干检测凸起位和若干定位孔检测位；
所述检测凸起位和所述定位孔检测位均位设于所述底板上；
所述检测凸起位的形状和位置均与标准硅片载具上的硅片放置位匹配；
所述定位孔检测位的形状和位置均与所述硅片载具上的定位孔匹配；
所述定位孔检测位具体为定位销，所述定位销垂直固定在所述底板上；
所述检测凸起位包括镂空结构和凸台，所述凸台设于所述镂空结构外周；
所述凸台的高度低于所述定位销的高度。
2.根据权利要求1所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述定位销和所述底板的固定方式为：在所述底板上设置过孔，所述定位销穿设在所述过孔中并由卡簧卡接固定。
3.根据权利要求1所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述定位销和所述底板的固定方式为：所述底板上设有内螺纹过孔，所述定位销底部设有外螺纹，所述定位销与所述内螺纹过孔螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述镂空结构为圆形过孔。
5.根据权利要求2所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述过孔的上端设有卡簧安装槽，C型的所述卡簧嵌设在所述卡簧安装槽内。
6.根据权利要求2或3所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述定位销包括销轴和销帽，所述销轴垂直设于所述销帽的上方，且所述销轴的底端与所述销帽固定连接。
7.根据权利要求1所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述底板的周边设有一组或两组把手，每组把手包括两个相对而设的把手。
8.根据权利要求1所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述检测凸起位和所述定位销相对于所述底板上表面的突出高度根据一次检测的硅片载具数量调整。
9.根据权利要求1所述的高效的硅片载具检测工装，其特征在于，所述检测工装的底板上还设置有用于实施组装和卸载硅片载具的凹口。
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