[实用新型]一种高效的硅片载具检测工装

说明书

本实用新型提供了一种高效的硅片载具检测工装，涉及硅片载具检测技术领域，利用定位销和凸台相结合的方式检测硅片载具的定位孔和硅片放置位是否合格，能够实现更高效、更便捷、可靠性更高的硅片载具检测。该检测工装包括底板、若干检测凸起位和若干定位孔检测位；所述检测凸起位和所述定位孔检测位均位设于所述底板上；所述检测凸起位的形状和位置均与标准硅片载具上的硅片放置位匹配；所述定位孔检测位的形状和位置均与所述硅片载具上的定位孔匹配；所述定位孔检测位具体为定位销，所述定位销垂直固定在所述底板上。

技术领域

本实用新型涉及硅片载具检测技术领域，尤其涉及一种高效的硅片载具检测工装。

背景技术

在镀膜设备中普遍采用载板装载硅片进行镀膜。目前一条能够满载并正常运转的镀膜设备，需要配30套左右载板。由于HJT电池正反面TCO膜层材料普遍为ITO，ITO具有超强的吸水特性，载板上积累了一定厚度的ITO后，载板在出腔取放片过程中就会迅速吸附大气中大量的水蒸气，然后随着载板进去镀膜环境中，导致电池片的转换效率下降，因此需要对载板进行定期的清理，去除表面的ITO膜。一块载板装载12片硅片载具，按照30套载板的数量，那一台设备需要360片硅片载具。硅片载具在清洗的过程中会伴随工人的暴力拆装、磕碰损伤和喷砂变形等。为了控制新的硅片载具和清洗后的硅片载具都能够合格上线使用，目前硅片载具都是品质人员根据图纸要求逐一检测各个关键尺寸是否合格，然后再做判定。

由品质人员逐一检测的方式，各个关键尺没有问题的才能够再次组装后上线使用，包括新做的硅片载具。载板进入自动化后，通过相机拍照来捕捉定位孔的位置，然后通过定位孔和9个放硅片的位置的相对尺寸精度来确保硅片是否可以准确无误的放入到硅片载具中。单片硅片载具就有9个位置的尺寸需要逐一检测，而且这9个放硅片的位置相对于定位孔的尺寸精度都是通过游标卡尺人工测量的。由于硅片载具数量很大，检验任务非常繁重，而且人工检测会存在一定误差。这样的检验方法，效率很低，很难保证所有硅片载具真正合格，从而导致载板不能够按时顺利上机使用。

因此，有必要研究一种新的高效的硅片载具检测工装来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种高效的硅片载具检测工装，利用定位销和凸台相结合的方式检测硅片载具的定位孔和硅片放置位是否合格，能够实现更高效、更便捷、可靠性更高的硅片载具检测。

本实用新型提供一种高效的硅片载具检测工装，所述检测工装包括底板、若干检测凸起位和若干定位孔检测位；

所述检测凸起位和所述定位孔检测位均位设于所述底板上；

所述检测凸起位的形状和位置均与标准硅片载具上的硅片放置位匹配；

所述定位孔检测位的形状和位置均与所述硅片载具上的定位孔匹配。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位孔检测位具体为定位销，所述定位销垂直固定在所述底板上。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位销和所述底板的固定方式为：在所述底板上设置过孔，所述定位销穿设在所述过孔中并由卡簧卡接固定。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述定位销和所述底板的固定方式为：所述底板上设有内螺纹过孔，所述定位销底部设有外螺纹，所述定位销与所述内螺纹过孔螺纹连接。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述检测凸起位包括镂空结构和凸台，所述凸台设于所述镂空结构外周。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述镂空结构为圆形过孔。

如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述过孔的上端设有卡簧安装槽，所述C型卡簧嵌设在所述卡簧安装槽内。