[实用新型]一种平面度检测装置有效
| 申请号： | 202220535579.1 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN216846147U | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 陆涵钧;胡中伟;赖志远;崔长彩;于怡青;徐西鹏 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 陈晓思 |
| 地址： | 362000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种平面度检测装置，涉及平面度测量装置技术领域。这种平面度检测装置包含旋转定位组件、直线位移组件和测量组件。旋转定位组件包括用以接合于研磨设备的固定座，以及可转动的安装在固定座的旋转座。直线位移组件接合于旋转定位组件和测量组件之间，用以驱动测量组件沿着预定轨迹移动。测量组件包括接合于滑台的夹紧底座、接合于底座的夹紧件，以及夹持于夹紧底座和夹紧件之间的检测件。其中，检测件用以检测被测物体的距离。旋转定位组件能够让平面度检测装置在工作位置和收纳位置之间进行切换，直线位移组件能够让测量组件沿着预定轨迹进行活动，以测量预定轨迹上的高度数据，以得到研磨盘的平面度，效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 检测 装置 | ||
【主权项】：
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