[实用新型]一种平面度检测装置

权利要求书

1.一种平面度检测装置，其特征在于，包含：

旋转定位组件(15)，包括用以接合于研磨设备(1)的固定座(18)，以及可转动的安装在所述固定座(18)的旋转座(19)；

直线位移组件(8)，包括接合于所述旋转座(19)的直线底座(12)、接合于所述直线底座(12)的直线导轨(11)和丝杆(9)、接合于所述直线导轨(11)和所述丝杆(9)的滑台，以及接合于所述丝杆(9)的驱动件(13)；所述驱动件(13)用以驱动所述丝杆(9)转动，从而移动所述滑台；

测量组件(4)，包括接合于所述滑台的夹紧底座(7)、接合于所述底座的夹紧件(6)，以及夹持于所述夹紧底座(7)和所述夹紧件(6)之间的检测件(5)；其中，所述检测件(5)用以检测被测物体的距离。

2.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述平面度检测装置(2)还包括接合于所述旋转座(19)和所述直线底座(12)之间的连接座(14)；所述连接座(14)设置有用以接合所述旋转座(19)的第一连接部(21)，以及用以接合所述直线底座(12)的第二连接部(23)。

3.根据权利要求2所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述第一连接部(21)垂直于所述第二连接部(23)。

4.根据权利要求2所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述第一连接部(21)和所述第二连接部(23)之间设置凸台(22)。

5.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述旋转定位组件(15)还包括设置于所述固定座(18)的锁止螺栓(17)；所述锁止螺栓(17)用以限制所述旋转座(19)旋转。

6.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述旋转座(19)和所述固定座(18)上分别设置有刻度(20)，用以标识当前的转动角度。

7.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述旋转定位组件(15)还包括设置于所述旋转座(19)上的拨杆(16)。

8.根据权利要求1所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述检测件(5)为激光位移传感器。

9.根据权利要求1至8任一项所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述驱动件(13)为步进电机。

10.根据权利要求1至8任一项所述的一种平面度检测装置,其特征在于,所述直线位移组件(8)构造为导程误差不大于30微米。