[实用新型]一种平面度检测装置

说明书

本实用新型提供了一种平面度检测装置，涉及平面度测量装置技术领域。这种平面度检测装置包含旋转定位组件、直线位移组件和测量组件。旋转定位组件包括用以接合于研磨设备的固定座，以及可转动的安装在固定座的旋转座。直线位移组件接合于旋转定位组件和测量组件之间，用以驱动测量组件沿着预定轨迹移动。测量组件包括接合于滑台的夹紧底座、接合于底座的夹紧件，以及夹持于夹紧底座和夹紧件之间的检测件。其中，检测件用以检测被测物体的距离。旋转定位组件能够让平面度检测装置在工作位置和收纳位置之间进行切换，直线位移组件能够让测量组件沿着预定轨迹进行活动，以测量预定轨迹上的高度数据，以得到研磨盘的平面度，效率更高。

技术领域

本实用新型涉及平面度测量装置领域，具体而言，涉及一种平面度检测装置。

背景技术

双面研磨是半导体衬底、手机面板、玻璃片等薄片零件加工的主要方法。由于双面研磨同时对工件的两个面进行加工，加工效率高且加工稳定性优越。

随着累积材料去除量的增加，研磨盘会随之产生磨损，且由于研磨盘表面不同位置所受轨迹的不同，造成研磨盘表面磨损不均匀。当研磨盘表面面型变差时，会导致加工的稳定性降低并导致加工出工件的表面质量变差。因此，当研磨盘表面面型达到一定误差时，就必须进行修整。

目前普遍采用的双面研磨研磨盘面型测量方法依靠千分尺进行手工测量，该方法将两个等高的金属圆柱体放置于研磨盘上，再将一根铁尺置于两个金属圆柱体上构成测量基准，接着使用千分尺在需要测量的位置进行逐点测量。此方法存在严重的精度问题，基准的晃动和手部的移动都会影响到测量的准确性，而测量结果需要微米级别的精度，所以此方法难以满足精度要求。同时由于手工测量，该方法测量速度慢，效率低，往往一次测量需要20分种以上，且粗糙的测量结果不能完全反映整个研磨盘的面型。因此，针对大尺寸研磨盘高效精密检测方法和检查装置的创新与开发迫在眉睫。

有鉴于此，申请人在研究了现有的技术后特提出本申请。

实用新型内容

本实用新型提供了一种平面度检测装置，旨在改善上述技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种平面度检测装置，其包含旋转定位组件、直线位移组件和测量组件。

旋转定位组件包括用以接合于研磨设备的固定座，以及可转动的安装在固定座的旋转座。

直线位移组件包括接合于旋转座的直线底座、接合于直线底座的直线导轨和丝杆、接合于直线导轨和丝杆的滑台，以及接合于丝杆的驱动件。驱动件用以驱动丝杆转动，从而移动滑台。

测量组件包括接合于滑台的夹紧底座、接合于底座的夹紧件，以及夹持于夹紧底座和夹紧件之间的检测件。其中，检测件用以检测被测物体的距离。

可选的，平面度检测装置还包括接合于旋转座和直线底座之间的连接座。连接座设置有用以接合旋转座的第一连接部，以及用以接合直线底座的第二连接部。

可选的，第一连接部垂直于第二连接部。

可选的，第一连接部和第二连接部之间设置凸台。

可选的，旋转定位组件还包括设置于固定座的锁止螺栓。锁止螺栓用以限制旋转座旋转。

可选的，旋转座和固定座上分别设置有刻度，用以标识当前的转动角度。

可选的，旋转定位组件还包括设置于旋转座上的拨杆。

可选的，检测件为激光位移传感器。

可选的，驱动件为步进电机。

可选的，直线位移组件构造为导程误差不大于30微米。

通过采用上述技术方案，本实用新型可以取得以下技术效果：