[实用新型]一种气相沉积炉的炉压报警系统有效
申请号: | 202220437491.6 | 申请日: | 2022-03-02 |
公开(公告)号: | CN216871378U | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 贾培延;由超;王树山;张国华 | 申请(专利权)人: | 烟台鲁航炭材料科技有限公司 |
主分类号: | G08B21/18 | 分类号: | G08B21/18;G08B7/06 |
代理公司: | 北京中创博腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11636 | 代理人: | 李艳艳 |
地址: | 264006 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种气相沉积炉的炉压报警系统,所述的报警系统包括信号隔离器、数字记录仪、中间继电器和报警回路,沉积炉的炉膛内安装真空探头,真空探头的信号输出端连接信号隔离器的信号输入端,信号隔离器的信号输出端设成两路,信号隔离器的信号输出端一路连接真空表,信号隔离器的信号输出端另一路连接数字记录仪,数字记录仪通过线路与报警器连接成报警回路。所述的报警系统可以使工作人员第一时间收到沉积炉内真空异样的信号,从而第一时间采取补救措施,避免产品质量事故的发生。数字记录仪可以记录、保存每次报警时间,便于复查及故障排除;而且使用具有灵活性,数字记录仪可任意调节报警上限值,适用性更强。 | ||
搜索关键词: | 一种 沉积 报警 系统 | ||
【主权项】:
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